يستهدف الأنبوب الرمادي GBT19001 هدف رش المغنطرون

أنبوب التيتانيوم الهدف التيتانيوم Gr2 ASTM B861-06 أ المادة المستهدفة طلاء الفراغ

المواد المستهدفة للطلاء هي مصدر رشاش يمكن أن يشكل أغشية وظيفية مختلفة على الركيزة عن طريق رش المغنطرون بطلاء متعدد الأيونات أو أنواع أخرى من أنظمة الطلاء في ظل ظروف تكنولوجية مناسبة.باختصار ، الهدف هو قذف المواد المستهدفة بجزيئات مشحونة عالية السرعة.عند استخدامها في أسلحة الليزر عالية الطاقة ، تتفاعل كثافات الطاقة المختلفة وأشكال الموجات الناتجة وأطوال موجات الليزر مع أهداف مختلفة ، وسيتم إنتاج تأثيرات قتل وتدمير مختلفة.على سبيل المثال ، طلاء بخاخ المغنطرون بالتبخير هو طلاء التبخر بالتسخين ، فيلم الألمنيوم ، إلخ. يمكن استبدال المواد المستهدفة المختلفة (مثل الألومنيوم والنحاس والفولاذ المقاوم للصدأ والتيتانيوم والنيكل ، وما إلى ذلك) للحصول على أنظمة أفلام مختلفة (مثل سوبر فيلم سبيكة صلب ، مقاوم للاهتراء ، مضاد للتآكل ، إلخ.)

1) مبدأ الاخرق المغنطرون:
تمت إضافة مجال مغناطيسي متعامد ومجال كهربائي بين الهدف المرشوشة (الكاثود) والأنود ، ويتم ملء الغاز الخامل المطلوب (عادةً غاز Ar) في غرفة التفريغ العالية.يشكل المغناطيس الدائم مجال مغناطيسي غاوسي 250-350 على سطح المادة المستهدفة ، والذي يشكل مجالًا كهرومغناطيسيًا متعامدًا مع مجال كهربائي عالي الجهد.تحت تأثير المجال الكهربائي ، تأين الغاز Ar إلى أيونات موجبة وإلكترونات ، الهدف وله ضغط سلبي معين ، من عمل الهدف من المجال المغناطيسي المتأثر بشدة وزيادة احتمال تأين الغاز العامل ، يشكل بلازما عالية الكثافة بالقرب من الكاثود ، Ar ion تحت تأثير قوة لورنتز ، يسرع للطيران إلى السطح المستهدف ، يقصف سطح الهدف بسرعة عالية ، الذرات المتناثرة على الهدف تتبع مبدأ تحويل الزخم وتطير بعيدًا عن السطح المستهدف مع أعلى الطاقة الحركية إلى الركيزة وتتراكم في الفيلم.ينقسم رش المغنطرون عمومًا إلى نوعين: رشاش التيار المستمر وترددات الراديو ، وهو مبدأ بسيط لمعدات رش التيار المستمر ، في المعدن المتطاير ، يكون معدله سريعًا.يعد استخدام رشاش التردد الراديوي أكثر شمولاً ، بالإضافة إلى المواد الموصلة المتطايرة ، ويمكن أيضًا أن يفسد المواد غير الموصلة ، ولكن يمكن أن يكون أيضًا أكسيد رشاش تفاعلي ، ونتريد وكربيد ومواد مركبة أخرى.إذا أصبح تردد تردد الراديو يتلألأ في بلازما الميكروويف ، فإن الرنين الإلكترون سيكلوترون شائع الاستخدام (ECR) يرشق بلازما الميكروويف.
2) نوع هدف رش المغنطرون:
المواد الهدف الاخرق المعدني ، طلاء السبائك طلاء الاخرق ، مواد طلاء السيراميك الاخرق ، مواد الهدف الاخرق السيراميك البوريدي ، المواد الهدف الاخرق السيراميك كربيد ، مادة الهدف الاخرق السيراميك بالفلورايد ، مواد الهدف الاخرق السيراميك النيتريد ، الهدف السيراميك أكسيد ، مادة الهدف سيراميك السيلينايد الاخرق ، مواد هدف رش السيراميك السليدي ، مادة هدف رش سيراميك كبريتيد ، مادة مستهدفة رش سيراميك تيلورايد ، أهداف سيراميك أخرى ، هدف سيراميك أكسيد السيليكون المطلي بالكروم (CR-SiO) ، هدف فوسفات الإنديوم (InP) ، هدف زرنيخ الرصاص (PbAs) ، الإنديوم هدف الزرنيخ (InAs).

المزايا الرئيسية
قوة منخفضة المواصفات عالية الكثافة
طلب التخصيص حسب الطلب
مقاومة ممتازة للتآكل
مقاومة جيدة للحرارة
أداء ممتاز في درجات الحرارة المنخفضة
خصائص حرارية جيدة
معامل مرونة منخفض