يستهدف أنبوب الاخرق التيتانيوم طلاء الفراغ Gr1 133OD * 125ID * 840L

التيتانيوم أنبوب الهدف التيتانيوم Gr1 ASTM B861-06 a 133OD * 125ID * 840L فراغ طلاء الهدف الاخرق

يرتبط اتجاه تطوير تكنولوجيا المواد للمادة المستهدفة ارتباطًا وثيقًا باتجاه تطوير تقنية الأغشية الرقيقة لصناعة التطبيقات النهائية ، جنبًا إلى جنب مع تطبيق التحسين التقني للصناعة على منتجات أو مكونات الأفلام ، يجب تغيير تقنية الهدف أيضًا ، لتحل محلها بشكل كبير شاشة العرض المسطحة الأصلية (FPD) في السنوات الأخيرة ، والتي تتكون أساسًا من شاشات الكمبيوتر لأنبوب أشعة الكاثود (CRT) وسوق التلفزيون.كما أنه سيزيد بشكل كبير من التكنولوجيا وطلب السوق للمواد المستهدفة ITO.بالإضافة إلى تقنية التخزين.يستمر الطلب على الأقراص الثابتة عالية الكثافة وذات السعة الكبيرة والأقراص القابلة للمسح عالية الكثافة في الازدياد.كل هذا يؤدي إلى تغيير طلب صناعة التطبيقات على المواد المستهدفة.أدناه سوف نقدم مجالات التطبيق الرئيسية للمواد المستهدفة واتجاه تطوير المواد المستهدفة في هذه المجالات على التوالي.
من بين جميع صناعات التطبيقات ، تتمتع صناعة أشباه الموصلات بمتطلبات الجودة الأكثر صرامة لأفلام الرش المستهدفة.اليوم ، تم تصنيع رقائق السيليكون مقاس 12 بوصة (300 رعاف).الوصلات تتقلص في العرض.يتطلب مصنعو الويفر حجمًا كبيرًا ونقاءًا عاليًا وعزلًا منخفضًا وحبوبًا دقيقة ، الأمر الذي يتطلب بنية مجهرية أفضل للهدف المصنّع.تم اعتبار قطر الجسيمات البلورية وتوحيد المادة المستهدفة من العوامل الرئيسية التي تؤثر على معدل ترسيب الأغشية الرقيقة.بالإضافة إلى ذلك ، يرتبط نقاء الفيلم بشكل كبير بنقاء المادة المستهدفة.في الماضي ، قد يكون نقاء 99.995٪ (4N5) من النحاس قادرًا على تلبية متطلبات عملية 0.35pm لمصنعي أشباه الموصلات ، لكنه لا يمكن أن يفي بمتطلبات عملية 0.25um ، وعملية 0.18um وحتى 0.13 m .سيكون نقاوة المادة المستهدفة أعلى من 5 أو حتى 6 نيوتن.عملية الموصل مطلوبة للأسلاك دون الميكرون أقل من 0.25 ميكرومتر ، ولكنها تجلب معها مشاكل أخرى: قوة التصاق منخفضة من النحاس للمواد العازلة العضوية.بالإضافة إلى ذلك ، من السهل التفاعل ، مما يؤدي إلى تآكل وفصل التوصيل البيني النحاسي في عملية الاستخدام.لحل هذه المشكلات ، يجب وضع طبقة حاجزة بين النحاس والطبقة العازلة.تستخدم مادة الحاجز بشكل عام معادن ومركبات ذات نقطة انصهار عالية ومقاومة عالية ، لذلك يجب أن يكون سمك طبقة الحاجز أقل من 50 نانومتر ، وأداء الالتصاق بالنحاس والمواد العازلة جيد.تختلف المواد الحاجزة للوصلات النحاسية والوصلات البينية المصنوعة من الألومنيوم.يجب تطوير مواد مستهدفة جديدة.تشمل المواد المستهدفة لطبقة حاجز التوصيل النحاسي Ta و W و TaSi و WSi وما إلى ذلك. لكن Ta و W هما معادن مقاومة للصهر.من الصعب نسبيًا صنعه ، ويتم دراسة الموليبدينوم والكروم والذهب الآخر كمواد بديلة.

سمات

1. كثافة منخفضة وقوة عالية
2. حسب الطلب وفقا للرسومات المطلوبة من قبل العملاء
3. مقاومة قوية للتآكل
4. مقاومة قوية للحرارة
5. مقاومة درجات الحرارة المنخفضة
6. مقاومة الحرارة