أهداف داخلية من الفولاذ المقاوم للصدأ Dia 123mm عالية الكثافة

OD150 * ID123 * 1091 الفولاذ المقاوم للصدأ 304 أنبوب الفولاذ المقاوم للصدأ الهدف

المواد المستهدفة في صناعة أشباه الموصلات.يمكن تقسيم مواد أشباه الموصلات إلى مواد رقاقة ومواد تغليف.تحتوي مواد التغليف على حواجز تقنية أقل مقارنة بمواد تصنيع الويفر. هناك سبعة أنواع من مواد أشباه الموصلات والمواد الكيميائية المشاركة في إنتاج الرقائق ، أحدها هو رش المواد المستهدفة. المادة المستهدفة هي تلك التي يتم قصفها بجزيئات مشحونة عالية السرعة. من خلال تغيير المواد المستهدفة المختلفة (مثل الألومنيوم والنحاس والفولاذ المقاوم للصدأ والتيتانيوم وأهداف النيكل وما إلى ذلك) ، يمكن الحصول على أنظمة أفلام مختلفة (مثل أفلام سبائك فائقة الصلابة ومقاومة للتآكل ومقاومة للتآكل وما إلى ذلك).

النقاء هو أحد مؤشرات الأداء الرئيسية للمادة المستهدفة ، لأن نقاء المادة المستهدفة له تأثير كبير على أداء الفيلم. ولكن في الممارسة العملية ، تختلف أيضًا متطلبات نقاء المواد المستهدفة. الشوائب في المواد الصلبة والأكسجين وبخار الماء في المسام هي المصادر الرئيسية لترسب الفيلم. من أجل تقليل مسامية المواد المستهدفة الصلبة وتحسين أداء فيلم الرش ، عادة ما تكون المادة المستهدفة مطلوبة لتكون ذات كثافة عالية. تعد الكثافة أيضًا أحد مؤشرات الأداء الرئيسية للمواد المستهدفة. لا تؤثر كثافة المادة المستهدفة على معدل الرش فحسب ، بل تؤثر أيضًا على الخصائص الكهربائية والبصرية للأغشية الرقيقة. كلما زادت الكثافة المستهدفة ، كان أداء تشكيل الفيلم أفضل. بالإضافة إلى ذلك ، يمكن تحسين كثافة وقوة المادة المستهدفة عن طريق جعل المادة المستهدفة تتحمل الضغط الحراري بشكل أفضل أثناء الرش.